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BP210系列硅谐振压力传感器
    发布时间: 2023-10-07 11:15    

数字化系统协同设计、MEMS工艺制造
谐振工作原理健壮、本征数字输出信号



BP210系列硅谐振压力传感器



特点：


 ·数字化系统协同设计、MEMS工艺制造

 ·谐振工作原理健壮、本征数字输出信号

 ·振子真空微囊包裹结构、高Q值长期稳定

 ·差频工作模式、分辨率和灵敏度高

 ·适于表压、绝压、差压高精度测量

 ·覆盖低、中、高宽压力量程范围


主要性能技术指标


序号

项目

规格指标

备注

1

压力类型

表压、差压

绝压

绝压

基准压力量程

0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa

1*

2

过载能力

≥3倍基准量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基准量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基准量程（≥60MPa）

1*


被测介质

与金属、单晶硅、玻璃兼容的非腐蚀性、绝缘气体和液体


3

激励电源

5～24 Vdc


4

准确度

≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS

2*、3*

5

工作温度范围

-55～+125℃


6

补偿温度范围

－55～＋85℃


7

典型工作频率

30～50kHz

2*

8

灵敏度

2～15Hz/hPa

2*

9

Q值

＞20000


10

长期稳定性

±0.02%FS/年

2*、

11

电流消耗

3.5mA


12

绝缘电阻

>100MW  

8*

13

电气连接模式

接插件、多芯线缆


14

测量接口形式

螺纹、法兰

6*

注：1*. 可用户定制；

      2*. 5VDC恒压激励，恒温25℃； 

      3*.非线性数据计算为最小二乘法；

      4*. 100VDC。


可提供定制服务，如有需求请与营销人员联系。

 


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