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BP230系列特种硅压阻压力传感器
    发布时间: 2023-10-07 11:15    

数字化系统协同设计、MEMS工艺制造


SiO2层绝缘隔离扩散硅敏感电桥

BP230系列特种硅压阻压力传感器




特点：


·数字化系统协同设计、MEMS工艺制造


·SiO2层绝缘隔离扩散硅敏感电桥

·特殊功能结构和材料

·适应高宽工作温度范围

·适应与硅、玻璃兼容的介质环境

·表压、绝压、差压类型齐全


·覆盖低、中、高宽压力量程范围

·小型化尺度适应发动机、风洞绝缘气、液体

  动态压力的“原位”或“亚原位”测量



主要性能技术指标

序号

项目

规格指标

备注

1

特殊种类

耐高温冲击

耐腐蚀

探针型

扁平型


2

压力类型

表压、绝压、

差压



基准压力量程

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa

1*


量程过载能力

≥2倍基准量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基准量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基准量程（≥60MPa）

2*

3

桥路电阻

1～3kΩ

3～5kΩ


5

零点输出

≤ ±5mV

3*

6

满量程输出

 ＞50 mV（典型值）

3*

7

准确度

 ≤ ±0.25%FS （典型值）± 0.5%FS（最大值）

3*、4*

8

灵敏度对称性

≤ ±0.3%FS（差压）

4*


固有频率

＞100kHz

＞10kHz

＞150kHz


9

工作温度范围

-55℃～+540℃

-55℃～+180℃

-55℃～+235℃

-55℃～+273℃

5*、1*

10

热零点漂移

≤ 1.5%FS/55℃

5*、6*

11

热灵敏度漂移

  ≤1.5%F.S /55℃

5*、6*

12

短期稳定性

≤±0.03%FS/8h

3*

13

长期稳定

＜±0.1%FS/年


14

激励电源

恒流1～1.5mA,或恒压5V～10V


15

电气连接形式

4缆线


16

典型接口尺寸

M5×0.8（mm）

≤Φ20（mm）

≤Φ2（mm）

≤2 ×2、≤Φ3（mm）

7*、1*

 注：1*. 可用户定制；                             2*. 100MPa量程过载为本量程上限；

        3*. 5VDC恒压激励，恒温25℃；     4*. 非线性算法为最小二乘法；                    

             5*.外无源补偿后的热漂移;                 6*. 55℃温区为-30～25℃或25～80℃；


可提供定制服务，如有需求请与营销人员联系。







 


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